微細(xì)制造及微機(jī)電系統(tǒng)專業(yè)涉及多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域，包括微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)和機(jī)械學(xué)等，旨在研究和開發(fā)微小尺度的機(jī)電系統(tǒng)。

微細(xì)制造技術(shù)

微細(xì)制造技術(shù)是指在微米甚至納米量級(jí)進(jìn)行加工的技術(shù)。它包括多種方法，如光刻、腐蝕、薄膜沉積、LIGA技術(shù)、硅微加工和非硅微加工等。這些技術(shù)共同構(gòu)成了微機(jī)電系統(tǒng)的制造基礎(chǔ)。

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)。MEMS融合了多種技術(shù)，如微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源、信號(hào)處理和控制電路等，形成一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。MEMS技術(shù)在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中有著廣泛應(yīng)用，涉及超精密機(jī)械加工，涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)和機(jī)械學(xué)的各分支。

應(yīng)用領(lǐng)域

MEMS技術(shù)廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，包括航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等。由于其能夠在狹小空間內(nèi)進(jìn)行作業(yè)而不擾亂工作環(huán)境和對(duì)象，MEMS在高科技領(lǐng)域中具有重要的應(yīng)用價(jià)值。例如，常見的MEMS產(chǎn)品包括加速度計(jì)、麥克風(fēng)、馬達(dá)、泵、光學(xué)傳感器、壓力傳感器和陀螺儀等。